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    这些公司制定出来的标准才是最重要的东西，现在就算是其他的公司拿到所有零件也不可能模仿出来。

    杨杰对艾斯摩尔这家公司在今年也是推出类似的沉浸式光刻机产品来也是十分注意，这家公司在今后将是瑞星科技公司强劲的对手，路数跟瑞星科技公司十分相似，而且也是绕开了瑞星科技公司的技术专利，也足以证明了这家公司之前积累下来的深厚技术功底。

    何玉光此前也是向杨杰建议向艾斯摩尔公司发起专利侵权的官司，不过杨杰却是否掉了。

    有这么一家公司来跟瑞星科技公司竞争也是好事，如果这个市场真的只剩下一家公司后也会让瑞星科技公司失去动力的。

    本来市场就是靠着产品技术实力来说话，说破了大天，结果产品技术不行什么都是虚的。

    光刻机是昂贵的工具机，英特尔作为深紫外光光刻机的推动者，也是早就希望光刻机制造商能够推出这类的光刻机，但是现阶却是没有一家光刻机制造商能够量产，因为这个技术实在太难了，现在华兴集团公司也只是掌握了部分的技术。

    杨杰也是让瑞星科技公司加快研制深紫外光光刻机的研发进度，也是希望能够在五年内能够让大部分的技术变得成熟起来，至少在抢在艾斯摩尔公司之前将这套深紫外光光刻机实现量产。

    因为沉浸式光刻机的193纳米波长的氟化氩光源极限制程工艺只能达到22纳米，虽然说芯片制造商能够使用193纳米氟化氩沉浸式光刻机使用多重成像技术能够勉强地将制程工艺提升到16到14纳米节点甚至能够达到乃至10及7纳米节点，但是这种多重曝光技术增加曝光次数，导致成本显著上升，良率、产出大幅下降的问题。

    如果这个时候深紫外光光刻机还不能实现量产的话，那么国内的制程工艺也就陷入了停滞状态，这个是杨杰不希望看到的。

    他是希望在28到14纳米制程工艺节点的时候深紫外光光刻机就能实现量产，继续推动制程工艺往下走下去。

    相比沉浸式光刻加三重成像技术，深紫外光光刻技术能够将金属层的制作成本降低9%，过孔的制作成本降低28%。

    随着制程工艺逐渐逼近极限，深紫外光光刻机的光源需要不断地提升，镜组的孔径数值要更高，这些都是人类的工艺的极限挑战。
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